用于立式沉積爐中石墨爐管的自動(dòng)化提取裝置

權利要求 1.一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動(dòng)化提取裝置，其特征在于，立式沉積爐包括石墨爐管，用于立式沉積爐中石墨爐管的自動(dòng)化提取裝置包括機架、提升架、三級伸縮臂、氣動(dòng)膨脹爪和三級伸縮臂驅動(dòng)組件， 其中，提升架連接在機架的支撐面上方，用于提升或下降三級伸縮臂;三級伸縮臂的上端與提升架連接，三級伸縮臂的下端與氣動(dòng)膨脹爪連接，且三級伸縮臂位于機架的側邊;三級伸縮臂驅動(dòng)組件與三級伸縮臂連接，且用于驅動(dòng)三級伸縮臂上下移動(dòng);氣動(dòng)膨脹爪通過(guò)壓縮空氣控制;三級伸縮臂配置為長(cháng)度可調節，且用于將氣動(dòng)膨脹爪移動(dòng)至石墨爐管上;氣動(dòng)膨脹爪用于抓取石墨爐管。 2.根據權利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動(dòng)化提取裝置，其特征在于，還包括石墨爐管暫存座， 其中，石墨爐管暫存座連接在機架的支撐面下方;提升架包括定位傳感器，定位傳感器用于定位石墨爐管與石墨爐管暫存座的對接;三級伸縮臂與提升架移動(dòng)連接。 3.根據權利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動(dòng)化提取裝置，其特征在于，立式沉積爐還包括與石墨爐管連接的氣體分配器，用于立式沉積爐中石墨爐管的自動(dòng)化提取裝置還包括真空吸附盤(pán)， 其中，真空吸附盤(pán)與氣動(dòng)膨脹爪連接，且通過(guò)壓縮空氣控制;三級伸縮臂還用于將真空吸附盤(pán)移動(dòng)至石墨爐管上。 4.根據權利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動(dòng)化提取裝置，其特征在于， 三級伸縮臂包括基本臂、第一級伸縮臂和第二級伸縮臂，其中，第一級伸縮臂滑動(dòng)嵌套于基本臂內，第二級伸縮臂則滑動(dòng)嵌套于第一級伸縮臂內。 5.根據權利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動(dòng)化提取裝置，其特征在于， 氣動(dòng)膨脹爪包括氣壓缸、活塞桿、傳動(dòng)機構、控制閥和夾持爪，其中，氣壓缸與活塞桿連接，活塞桿與夾持爪連接，傳動(dòng)機構用于將活塞桿的運動(dòng)轉換為夾持爪的夾持或釋放動(dòng)作，活塞桿用于在氣壓缸內移動(dòng)時(shí)帶動(dòng)夾持爪進(jìn)行運動(dòng);控制閥與氣壓缸連接，且用于調節氣壓缸中氣壓大小和流速。 6.根據權利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動(dòng)化提取裝置，其特征在于， 真空吸附盤(pán)包括吸盤(pán)、吸盤(pán)架和密封圈，其中，吸盤(pán)下分布多個(gè)小孔，并與吸盤(pán)架的管道相連，以實(shí)現真空吸力的傳遞;