波長(cháng)大范圍可調節的VCSEL激光器陣列

權利要求 1.波長(cháng)大范圍可調節的VCSEL激光器陣列，其特征在于，包括若干個(gè)VCSEL激光器，各VCSEL激光器圓周上設有一個(gè)環(huán)形的加熱器，各加熱器的分別連接到獨立可控電流，通過(guò)控制輸入到各加熱器的電流大小來(lái)調整各VCSEL激光器的溫度，各VCSEL激光器的出射激光波長(cháng)依次連續。2.根據權利要求1所述的波長(cháng)大范圍可調節的VCSEL激光器陣列，其特征在于，各VCSEL激光器具有不同的固有熱阻，并根據固有熱阻大小依次排列。 3.根據權利要求1所述的波長(cháng)大范圍可調節的VCSEL激光器陣列，其特征在于，各VCSEL激光器的驅動(dòng)電源相互獨立，通過(guò)調節驅動(dòng)電流大小來(lái)調整出射激光波長(cháng)。 4.根據權利要求1所述的波長(cháng)大范圍可調節的VCSEL激光器陣列，其特征在于，所述加熱器為采用半導體材料制備。 說(shuō)明書(shū) 波長(cháng)大范圍可調節的VCSEL激光器陣列 技術(shù)領(lǐng)域 本發(fā)明涉及一種波長(cháng)大范圍可調節的VCSEL激光器陣列。 背景技術(shù) 垂直腔面發(fā)射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser, VCSEL)具有體積小、相應頻帶寬、溫度漂移小、閾值電流低、單縱模出射、發(fā)散角小、調制速率高、出射激光為圓形光斑易與光纖耦合、封裝簡(jiǎn)單易于二維集成、工作壽命長(cháng)等優(yōu)越性能，在光纖通信、原子鐘、3D傳感、汽車(chē)雷達等領(lǐng)域的應用前景被十分看好。垂直腔面發(fā)射激光器的激光垂直于芯片表面從頂面或底面射出，出射方向由激光波長(cháng)決定。 VCSEL的結構中有上、下兩個(gè)分布式布拉格反射鏡（DBR），分成反射區和出射區，反射區具有99.9%以上的反射率，出射區具有99%以上的反射率，這種差異決定最終波長(cháng)的出射位置。上、下分布式布拉格反射鏡將有源層包裹在中間，構成的激光諧振腔使得在與腔體相垂直的方向上讓往復運動(dòng)的光產(chǎn)生諧振放大，最終達到閾值出射激光。DBR由多種折射率差別很大且晶格常數匹配的材料層疊而得，常用的是將GaAs和AlAs交替層疊。在這種DBR中，最好使得能量帶隙大于諧振波長(cháng)，以避免光被吸收。 伴隨著(zhù)VCSEL在密集波分復用(Dense wavelength division multiplexing,DWDM)光纖通信系統的大規模應用，業(yè)界對波長(cháng)可調諧VCSEL的需求