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江蘇無錫有色金屬失效分析技術理論與應用

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高收集效率的掃描電鏡電子探測器

本實用新型提供了一種高收集效率的掃描電鏡電子探測器,其提高二次電子或者背散射電子的收集效率、能夠進一步改善圖像的信噪比和分辨力。其包括:柵網;法拉第杯;閃爍體;光導柱;光電倍增管;高壓電源;電流放大電路板;不銹鋼外殼;法拉第杯的電子信號輸入端設置有外凸的篩網,法拉第杯的電子信號輸出端朝向閃爍體布置,閃爍體的光子信號輸出端朝向光導柱的輸入端布置,光導柱的輸出端連接至光電倍增管的信號輸入端,光電倍增管的信號輸出端連接電流放大電路板的信號輸入端,光電倍增管連接有高壓電源;不銹鋼外殼內包覆有高壓電源、光電倍增管、光導柱、閃爍體,不銹鋼外殼的前部輸入端固裝有法拉第杯。

標簽:
電子探測器 探測器
江蘇 - 無錫 來源:無錫量子感知技術有限公司 2024-05-31
便于攜帶的金相顯微鏡支架

本實用新型公開了一種便于攜帶的金相顯微鏡支架,涉及金相顯微鏡技術領域,包括外殼防護單元,還包括設置于外殼防護單元外部的輔助搬運單元,設置于外殼防護單元內部的調節夾持單元與壓持固定單元;調節夾持單元包括開設于外殼防護單元內底壁的U型槽、活動設置于U型槽內且開設有兩端旋向相反螺紋的螺紋軸、安裝在螺紋軸上的移動件、安裝在移動件頂部的夾持座,以及安裝在螺紋軸輸入端的驅動電機。本實用新型為一種便于攜帶的金相顯微鏡支架,通過設置的調節夾持單元與壓持固定單元,實現了對不同型號的金相顯微鏡的運輸防護,提升了適用范圍。

標簽:
顯微鏡支架 顯微鏡
江蘇 - 無錫 來源:無錫華乾科技有限公司 2024-05-30
掃描電子顯微鏡電子束斑深度的測量方法

本發明提出一種測量掃描電子顯微鏡電子束斑深度的方法,在導電金屬基底層上,逐步濺射上若干層金屬層,形成標準樣品;利用掃描電子顯微鏡對標準樣品在測試倍率下進行聚焦放大掃描,同時利用能譜儀在測試倍率下分別獲取每一金屬層的金屬元素的出峰臨界值電壓,以及掃描顯微鏡電子束到達每一金屬層表面激發金屬特征信號需要的深度值;進行建模形成測試倍率下的三坐標數據矩陣;調整測試倍率再按照上述的方法分別獲取不同倍率下的三坐標數據矩陣;將在不同測試倍率下獲取的的數據矩陣進行擬合形成數據矩陣群落;通過擬合形成三維曲面,按照三維曲面則可得到任一倍率和任一出峰臨界值電壓下的掃描電子顯微鏡的電子束斑深度值。

標簽:
掃描電子顯微鏡電子束斑深度的測量方法
江蘇 - 無錫 來源:無錫華鑫檢測技術有限公司 2024-03-12
耐高溫壓力傳感器
耐高溫壓力傳感器 1248     
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本實用新型涉及一種耐高溫壓力傳感器,包括殼體、后蓋、壓力傳感器芯體、導入嘴、橡膠圈、傳力管,所述殼體的中心設有沿其軸向設置的傳力管安裝孔,所述傳力管安裝在傳力管安裝孔中,所述傳力管中填充有惰性氣體,所述導入嘴螺接在外殼的頂部,所述橡膠圈夾置在導入嘴與傳力管的頂部之間,所述壓力傳感器芯體的感應面與傳力管的底端相接觸,所述后蓋安裝在殼體的底端。本實用新型的有益效果是:通過在導入嘴與壓力傳感器芯體之間設置傳力管,避免壓力傳感器芯體與高溫介質直接接觸而損壞、失效,使得該壓力傳感器能夠對高溫介質進行壓力測量。

標簽:
失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
用于儀器儀表數碼管在線監控識別裝置

本實用新型公開了一種用于儀器儀表數碼管在線監控識別裝置,通過基于機器視覺或光電二極管原理的數碼管識別裝置將醫用冷藏柜當前的溫度讀取出來,與醫用冷藏柜的正常溫度進行對比,用來進行實時的監測與報警提示?,F有的醫用冷藏柜只有一個數碼管顯示當前柜內的溫度,當醫用冷藏柜的的柜內溫度超出標準的溫度范圍時,工作人員不能及時的了解到,會出現誤用失效的疫苗,具有非常大的危險性。本實用新型的基于機器視覺或光電二極管原理的數碼管識別裝置可以很好的解決這一問題,并且整個裝置外形小巧,結構簡單,通過攝像頭或光電二極管可以動態識別數碼管,識別速度快,準確度高,性價比高。

標簽:
失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
六腔等壓等排量式油缸
六腔等壓等排量式油缸 1178     
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本實用新型涉及一種六腔等壓等排量式油缸,包括氣缸本體,還包括中缸機構和對稱設置在中缸機構兩端的油氣混合壓縮機構。本實用新型油氣混合壓縮機構對稱設置在中缸機構的兩側,結構對稱,重量分布均勻,該油缸更適合橫置,氣液管路對稱布置,安裝、維護更加方便,往復運行速度一致、平穩;本實用新型設置的第一活塞環、第二活塞環和第三活塞環為金屬材質,不會因為高溫導致密封失效或者燃爆,又由于工作時對氣體加壓導致的溫度升高,可使活塞環熱膨脹,從而啟到更好的密封作用;本實用新型設有可調節輸出壓力的測壓接頭和調壓閥,防止氣體過度壓縮,保證了被充蓄能設備的安全,可靠性高。

標簽:
失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
基于微機電系統技術的硅電容真空傳感器

一種基于微機電系統技術的硅電容真空傳感器,涉及微機電系統(MEMS)傳感器和真空傳感器制造領域,包括上極板、下極板、中間絕緣層、真空腔以及上下極板上的電引線焊盤,真空腔是上極板與中間絕緣層間、或者上極板、中間絕緣層與下極板間形成的密封腔,真空腔內設計有絕緣支撐柱陣列,所述絕緣支撐柱的頂端面與上極板間留有空隙。本實用新型能有效測量高真空度、覆蓋真空度范圍大、制作工藝簡單,有效解決現有技術的微型電容薄膜傳感器存在的敏感薄膜破裂、粘附失效以及所用玻璃材料放氣等問題。

標簽:
失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
洗衣機的桶組件及具有其的洗衣機

本實用新型涉及洗衣機的桶組件及具有其的洗衣機。洗衣機的桶組件包括桶體,在所述桶體的上部設置有溢水口,在所述桶體的上部設置有補充進氣口,所述補充進氣口在豎直方向上高于所述溢水口。根據本實用新型實施例的桶組件,其在桶體的上部設置有溢水口,在桶體的上部設置有補充進氣口,補充進氣口的設置能夠有效防止排水過程中因桶體內水位高度過高而導致氣壓平衡失效的問題,從而使安置在桶體上的水位傳感器始終能夠保持良好的測量準度。另外,由于補充進氣口的設置保證了排水過程中桶體內始終處于氣壓平衡狀態,這樣也能夠使排水過程較為順暢,不會出現排水困難的問題。

標簽:
失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
底入式軸封
底入式軸封 1599     
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本實用新型公開了一種底入式軸封,用于攪拌釜,采用測溫系統和沖洗機構及其錐形噴液孔(10),加之接觸物料的動環(6)與靜環(7)外柱面直徑不變等輔助設計改進,可以避免沉積或者雜質多導致的軸封失效破壞,可及時預警、及時有效排除不利影響保證底入式軸封穩定工作。

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失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
帶有報警裝置的外壓直管壓力平衡型補償器

本實用新型涉及一種帶有報警裝置的外壓直管壓力平衡型補償器,包括第一接管、第一工作波紋管、第二工作波紋管、平衡波紋管、筒體、導流筒、外套筒及第二接管;第一工作波紋管、第一接管及平衡波紋管連接形成第一密閉腔體,于第一接管上設置與第一密閉腔體相連通的第一報警裝置;還包括密封波紋管,第二接管、密封波紋管及第二工作波紋管連接形第二密閉腔體,于第二密閉腔體的外周還設置保護筒,第二報警裝置貫穿保護筒、第二接管并與第二密閉腔體連通。本實用新型在各波紋管發生失效的情況下均可以由各報警裝置監測,通過在第一密閉腔體、第二密閉腔體充入壓力可以降低各波紋管的應力水平,保證補償器不易發生泄漏,提高了補償器的使用壽命。

標簽:
失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
具有雙向機械限位保護裝置的全自動太陽跟蹤器

本實用新型涉及一種全自動太陽跟蹤器,具體的說是一種具有雙向機械限位保護裝置的全自動太陽跟蹤器,屬于輻射傳感器技術領域。其包括太陽跟蹤器殼體、水平傳動機構、垂直傳動機構、水平機械保護裝置、垂直機械保護裝置、時角軸、赤緯軸、控制系統、遮光裝置、四象限傳感器和對準調節裝置,在時角軸上設有水平機械保護裝置,在赤緯軸上設有垂直機械保護裝置。本實用新型分別實現跟蹤器水平運動和垂直運動,不僅能實現直接輻射表的太陽跟蹤,還能實現散射輻射表和大氣長波輻射表的自動遮光,滿足高精度輻射傳感器的工作要求;跟蹤器設計有防止控制系統失效所導致傳動失控的機械防護裝置,更好的保護輻射傳感器,實現測量結果精度更高、減少機電事故等優點。

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失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
海底接駁盒的主控模塊冗余切換結構

本實用新型公開了一種海底接駁盒的主控模塊冗余切換結構,涉及海底觀測技術領域,在本申請的主控模塊冗余切換結構中,內部集成有PWM發生器的第一主控模塊通過輸出脈沖信號的第二端口連接F/V轉換器,再連接并控制第一繼電器線圈,從而驅動第一繼電器開關切換到第二主控模塊,在第一主控模塊正常工作時,第一主控模塊通過第二端口輸出的脈沖信號經過F/V轉換器處理后輸出高電平,在第一主控模塊發生故障時,第一主控模塊通過第二端口無論輸出高電平、低電平還是高阻態,經過F/V轉換器處理后都輸出低電平,第一主控模塊的第二端口在正常工作和發生故障時輸出的信號的形式的區分度較大,避免了切換失效的情況,提高了系統的可靠性。

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失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
設置熱熔組件的電池及電子設備

本實用新型提供了一種設置有熱熔組件的電池及電子設備,所述設置有熱熔組件的電池在電池熱封封印處設置有至少1個熱熔組件;所述熱熔組件一端置于電池內部,一端置于電池外部。所述熱熔組件的設置不會影響電池內部設計,也不影響電性能,可顯著提升電池熱箱、高溫短路、過充、過放或高溫高濕的測試通過率,降低失效風險,能在保證電池密封的前提下,提升電池的安全性。

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失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
濾波器芯片封裝板
濾波器芯片封裝板 1030     
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本實用新型提供了一種濾波器芯片封裝板,其可以保證濾波器芯片的封裝面不傾斜,有效降低測試失效的概率。其包括濾波器芯片,所述濾波器芯片倒裝焊接于基板上,其還包括支撐塊,所述支撐塊均勻分布于所述濾波器芯片的外圍、且與所述基板固定連接,封裝膠包覆所述濾波器芯與所述支撐塊的外圍、并填充其中的間隙。

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失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
應用于動力電池蓋的溫度傳感器

本實用新型公開了一種應用于動力電池蓋的溫度傳感器,包括防火槽盒,在防火槽盒中設置有熱敏探頭,所述熱敏探頭包括NTC熱敏陶瓷,NTC熱敏陶瓷的兩端設置有銀電極,在NTC熱敏陶瓷的周圍設置有微晶玻璃包裹層,微晶玻璃包裹層的外側設置有導熱硅樹脂層,銀電極穿過微晶玻璃包裹層,銀電極與引線的連接點位于導熱硅樹脂層;所述引線伸出防火槽盒的部分設置有防火保護套。熱敏探頭具有極強的防水性、抗機械振動、抗機械壓力等優點;防火槽體采用具有高導熱性能的防火材料制成,保護傳感器在出現明火情況時,不會出現失效,并且能夠及時響應,快速測到溫度。

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失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
DPF組件結構
DPF組件結構 1192     
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本實用新型提供一種DPF組件結構,包括筒體,所述筒體中設置有DPF載體,所述筒體外部設有第一壓差取氣管和第二壓差取氣管;所述第一壓差取氣管一端通過第一取氣管底座與所述筒體連通,以便于從所述筒體內取氣;所述第二壓差取氣管一端通過第二取氣管底座與所述筒體連通,以便于從所述筒體內取氣;所述第一取氣管底座和所述第二取氣管底座安裝于所述筒體的外壁,并從與所述筒體的連接端開始傾斜向上。該DPF組件結構通過取氣管底座將起始端內的液體倒流回筒體內,防止車輛在寒區或冬季行車時在負角處存積的液體出現結冰情況,導致壓差傳感器監測數據失效的問題。

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失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
向密閉腔體內充氣保護裝置

本實用新型屬于真空鍍膜技術領域,特別涉及一種向密閉腔體內充氣保護裝置,該裝置包括反應腔體,所述反應腔體分別設置接口安裝壓力表和充氣閥,同時在壓力表與反應腔體連接的管路上設置接口安裝泄壓閥。本實用新型結構簡單、使用方便,當鍍膜完成后,充氣閥打開,向反應腔體內充入壓縮空氣,通過壓力表實時測量反應腔體內壓力,當壓力到達大氣壓時,壓力表輸出信號控制壓縮空氣閥門關閉,停止充入壓縮空氣;當壓力表失效時,反應腔體內壓力到達大氣壓后繼續上升,到達泄壓閥設置值時,泄壓閥自動打開,從而有效防止壓力繼續上升,避免設備損壞或引發造成人身傷害事故的發生。

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失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
長纖維變形設備
長纖維變形設備 1220     
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本發明公開了一種長纖維變形設備,包括斷絲裝置、第一動態握持裝置、加熱器、散熱降溫裝置、扭曲變形裝置、第二動態握持裝置、探測裝置、上油裝置、卷取機構、引絲裝置;其中第一動態握持裝置、第二動態握持裝置包括旋轉輥、旋轉盤及馬達,絲線纏繞在旋轉輥和旋轉盤的共同外周上。本發明所述設備由于不使用羅拉加皮輥或皮圈的握持方式,避免了使用皮圈、皮輥時因磨損而導致握持失效現象,提高了絲線牽伸的穩定性,大大提升了產品的質量,同時降低了機器的維護工作量和使用成本。

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失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
溝渠雙擴散金屬氧化半導體制作方法及裝置

一種溝渠雙擴散金屬氧化半導體制作方法及裝置,包括如下步驟:摻雜;注膠和研磨;刻蝕;清洗;熱處理;濺射。經過在背面的處理工藝,采用熱處理過程后,通過對晶圓片探測數據,有效的改善溝渠雙擴散金屬氧化半導體沒有出現源漏(源極和漏極)軟擊穿失效的情況。同時相對應所采取的裝置是通過現有的高溫爐就可以實現,不需要特別的購買新設備或專門的設備,因此節省了成本,提高了經濟效益。

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失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
采用令牌保底分布式貪心算法的環網防饑餓流控方法

一種采用令牌保底分布式貪心算法的環網防饑餓流控方法,屬于分布控制環網流控技術領域。方法包括步驟S01,當監測到環網的網上狀態為空閑時,本地節點發送報文上網;步驟S02,本地節點在一定時間后仍未能傳送報文時,請求網上正在傳送報文的微片攜帶對應令牌;步驟S03,環網上傳送報文的微片依次傳送,微片傳送至目標節點后下網,令牌繞環網傳送回到本地節點并失效;其中,在微片自本地節點傳送至目標節點的路徑中的其他節點不能上網。本發明在不增加額外緩沖資源的前提下,避免饑餓問題、平衡各節點負載,優化環網的性能和可實現性。

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失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
FAN-OUT的封裝結構及其封裝方法

本發明公開了一種FAN-OUT的封裝結構及其封裝方法,其封裝結構為在介電層的上表面設有介質層,在介質層上表面設有塑封體,在介質層內設有布線,在布線的上端部設有凸點,在塑封體內設有倒裝的芯片,芯片與凸點相連,在布線的下端部連接有焊球,焊球的下端部露出所述的介電層。本封裝結構去掉了工藝復雜的TSV及晶圓減薄工藝,提供一種低成本中高密度多芯片集成方案;減少x/y/z封裝尺寸;貼片后在塑封之前進行晶圓級別的電性測試,一旦發現貼合工藝失效,可以進行重工操作,提高了最終產品的良率。

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失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
基于微機電系統技術的硅電容真空傳感器

一種基于微機電系統技術的硅電容真空傳感器,涉及微機電系統(MEMS)傳感器和真空傳感器制造領域,包括上極板、下極板、中間絕緣層、真空腔以及上下極板上的電引線焊盤,真空腔是上極板與中間絕緣層間、或者上極板、中間絕緣層與下極板間形成的密封腔,真空腔內設計有絕緣支撐柱陣列,所述絕緣支撐柱的頂端面與上極板間留有空隙。本發明能有效測量高真空度、覆蓋真空度范圍大、制作工藝簡單,有效解決現有技術的微型電容薄膜傳感器存在的敏感薄膜破裂、粘附失效以及所用玻璃材料放氣等問題。

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失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
耐高溫壓力傳感器
耐高溫壓力傳感器 1553     
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本發明涉及一種耐高溫壓力傳感器,包括殼體、后蓋、壓力傳感器芯體、導入嘴、橡膠圈、傳力管,所述殼體的中心設有沿其軸向設置的傳力管安裝孔,所述傳力管安裝在傳力管安裝孔中,所述傳力管中填充有惰性氣體,所述導入嘴螺接在外殼的頂部,所述橡膠圈夾置在導入嘴與傳力管的頂部之間,所述壓力傳感器芯體的感應面與傳力管的底端相接觸,所述后蓋安裝在殼體的底端。本發明的有益效果是:通過在導入嘴與壓力傳感器芯體之間設置傳力管,避免壓力傳感器芯體與高溫介質直接接觸而損壞、失效,使得該壓力傳感器能夠對高溫介質進行壓力測量。

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失效分析
江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
高溫警示用的不可逆示溫貼片

本發明提供了一種高溫警示用的不可逆示溫貼片,其使用便捷、測溫精確,變色溫度范圍可實現從270℃到320℃,且一旦示溫失效,可方便進行更換,可避免造成環境污染、資源浪費等問題;不可逆示溫貼片貼附于待警示目標表面,所述示溫貼片包括從上到下依次層疊的防紫外老化層、示溫層、硅橡膠基底層、粘結層、保護層。

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江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
電動燃油泵的流量開環控制方法

本發明涉及一種電動燃油泵的流量開環控制方法,包括以下步驟:控制器將接收到的質量流量指令Wref根據燃油溫度T轉換為需要的體積流量指令Qref;步驟2、由體積流量指令Qref,根據標定的體積流量到燃油噴嘴壓差、體積流量到增壓計量閥壓差之間的關系表進行線性插值查詢,得到燃油噴嘴壓差?Pnzl、增壓計量閥壓差?Pfpv。本發明結構簡單,占用空間??;實現了電動燃油泵燃油流量開環的精確計量,解決了電動燃油泵閉環控制過程中,增壓計量閥的位移測量失效時,無法完成閉環控制的問題。

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江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
數字電子調速控制器模擬信號輸入采集電路

本實用新型涉及的一種數字電子調速控制器模擬信號輸入采集電路,它包括模擬信號輸入保護電路、雙路冗余信號取樣及采集電路、數字隔離電路、功能安全CPU電路,雙路冗余信號取樣及采集電路包括信號取樣及采集電路A和信號取樣及采集電路B;所述功能安全CPU電路內置功能安全軟件,對接收到的模擬信號輸入采集結果進行運算、判別,實現模擬輸入故障的實時監測,并根據故障嚴重性觸發報警或安全失效保護,保障數字電子調速控制器的功能安全。本發明設計的雙路冗余信號取樣及采集電路相對獨立,不僅通過對自身參考電壓的采樣實現其數據采集芯片采樣功能的異常監測,而且通過采集對方數據采集芯片供電電壓及參考電壓的工作狀態實現互相監督。

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江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
采用令牌保底分布式貪心算法的環網防饑餓流控方法

一種采用令牌保底分布式貪心算法的環網防饑餓流控方法,屬于分布控制環網流控技術領域。方法包括步驟S01,當監測到環網的網上狀態為空閑時,本地節點發送報文上網;步驟S02,本地節點在一定時間后仍未能傳送報文時,請求網上正在傳送報文的微片攜帶對應令牌;步驟S03,環網上傳送報文的微片依次傳送,微片傳送至目標節點后下網,令牌繞環網傳送回到本地節點并失效;其中,在微片自本地節點傳送至目標節點的路徑中的其他節點不能上網。本發明在不增加額外緩沖資源的前提下,避免饑餓問題、平衡各節點負載,優化環網的性能和可實現性。

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江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
FAN-OUT的封裝結構及其封裝方法

本發明公開了一種FAN-OUT的封裝結構及其封裝方法,其封裝結構為在介電層的上表面設有介質層,在介質層上表面設有塑封體,在介質層內設有布線,在布線的上端部設有凸點,在塑封體內設有倒裝的芯片,芯片與凸點相連,在布線的下端部連接有焊球,焊球的下端部露出所述的介電層。本封裝結構去掉了工藝復雜的TSV及晶圓減薄工藝,提供一種低成本中高密度多芯片集成方案;減少x/y/z封裝尺寸;貼片后在塑封之前進行晶圓級別的電性測試,一旦發現貼合工藝失效,可以進行重工操作,提高了最終產品的良率。

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江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
調速控制器模擬信號輸入采集電路及其功能安全保障方法

本發明涉及的一種調速控制器模擬信號輸入采集電路及其功能安全保障方法,它包括模擬信號輸入保護電路、雙路冗余信號取樣及采集電路、數字隔離電路、功能安全CPU電路,雙路冗余信號取樣及采集電路包括信號取樣及采集電路A和信號取樣及采集電路B;所述功能安全CPU電路內置功能安全軟件,對接收到的模擬信號輸入采集結果進行運算、判別,實現模擬輸入故障的實時監測,并根據故障嚴重性觸發報警或安全失效保護,保障數字電子調速控制器的功能安全。本發明設計的雙路冗余信號取樣及采集電路相對獨立,不僅通過對自身參考電壓的采樣實現其數據采集芯片采樣功能的異常監測,而且通過采集對方數據采集芯片供電電壓及參考電壓的工作狀態實現互相監督。

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江蘇 - 無錫 來源:中冶有色網 2023-03-19
基于微機電系統技術的硅電容真空傳感器

一種基于微機電系統技術的硅電容真空傳感器,涉及微機電系統(MEMS)傳感器和真空傳感器制造領域,包括上極板、下極板、中間絕緣層、真空腔以及上下極板上的電引線焊盤,真空腔是上極板與中間絕緣層間、或者上極板、中間絕緣層與下極板間形成的密封腔,真空腔內設計有絕緣支撐柱陣列,所述絕緣支撐柱的頂端面與上極板間留有空隙。本發明能有效測量高真空度、覆蓋真空度范圍大、制作工藝簡單,有效解決現有技術的微型電容薄膜傳感器存在的敏感薄膜破裂、粘附失效以及所用玻璃材料放氣等問題。

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