權利要求書： 1.一種掃描電子顯微鏡電子束斑深度的測量方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟：1)在導電金屬基底層上，從下往上逐步濺射上厚度為d1的第1金屬層、厚度為d2第2金屬層、......、厚度為dn-1的第n-1金屬層、厚度為dn的第n金屬層，形成標準樣品，其中n≥5；2)利用掃描電子顯微鏡對步驟1)得到的標準樣品在測試倍率M下進行聚焦放大掃描，同時利用能譜儀在倍率M下從上往下分別獲取第n-1金屬層、......、第2金屬層、第1金屬層的金屬元素的出峰臨界值電壓n-1、......、2、1，以及掃描顯微鏡電子束到達第n-1金屬層、......、第2金屬層、第1金屬層表面激發金屬特征信號需要的深度值為dn、......、dn+dn-1+......+d3、dn+dn-1+......+d3+d2；再將各金屬層的金屬元素出峰臨界值電壓以及掃描顯微鏡電子束到達各金屬層表面激發金屬特征信號需要的深度值進行建模，形成倍率M下的三坐標數據矩陣：(M、n-1、dn)、......、(M、2、dn+dn-1+......+d3)、(M、1、dn+dn-1+......+d3+d2)；3)按倍率變化值m固定順序調整測試倍率為M+m、M+2m、......、M+(a-1)m、M+am，其中a≥5；再按照步驟2)所述的方法分別獲取倍率M+m、M+2m、......、M+(a-1)m、M+am下的三坐標數據矩陣；4)將在測試倍率M、M+m、M+2m、......、M+(a-1)m、M+am下獲取的的數據矩陣進行擬合形成數據矩陣群落；通過擬合形成三維曲面，按照三維曲面則可得到任一倍率和任一出峰臨界值電壓下的掃描電子顯微鏡的電子束斑深度值。2.根據權利要求1所述的一種掃描電子顯微鏡電子束斑深度的測量方法，其特征在于，所述導電金屬基底層為鋁基底層；所述金屬層材料為鉑、金、銅、鎳或者鐵中的一種；所述金屬層的厚度d1、d2、、......、dn-1、dn均為100～10000nm。3.根據權利要求1所述的一種掃描電子顯微鏡電子束斑深度的測量方法，其特征在于，所述能譜儀是在一定初始電壓下，在一定的電壓范圍內連續緩慢升高電壓，以獲取相應倍率下的元素出峰臨界值電壓。4.根據權利要求3所述的一種掃描電子顯微鏡電子束斑深度的測量方法，其特征在于，所
聲明：
“掃描電子顯微鏡電子束斑深度的測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
534
編輯：管理員
來源：無錫華鑫檢測技術有限公司
分享 0
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
2025年08月05日 ~ 07日 
