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溝渠雙擴散金屬氧化半導體制作方法及裝置

1244   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:37:11
一種溝渠雙擴散金屬氧化半導體制作方法及裝置，包括如下步驟：摻雜；注膠和研磨；刻蝕；清洗；熱處理；濺射。經過在背面的處理工藝，采用熱處理過程后，通過對晶圓片探測數據，有效的改善溝渠雙擴散金屬氧化半導體沒有出現源漏(源極和漏極)軟擊穿失效的情況。同時相對應所采取的裝置是通過現有的高溫爐就可以實現，不需要特別的購買新設備或專門的設備，因此節省了成本，提高了經濟效益。
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