高收集效率的掃描電鏡電子探測器

權利要求書(shū)： 1.一種高收集效率的掃描電鏡電子探測器，其特征在于，其包括：其包括： 柵網(wǎng)； 法拉第杯； 閃爍體； 光導柱； 光電倍增管； 高壓電源； 電流放大電路板； 不銹鋼外殼； 所述法拉第杯的電子信號輸入端設置有外凸的篩網(wǎng)，所述法拉第杯的電子信號輸出端朝向所述閃爍體布置，所述閃爍體的光子信號輸出端朝向光導柱的輸入端布置，所述光導柱的輸出端連接至所述光電倍增管的信號輸入端，所述光電倍增管的信號輸出端連接所述電流放大電路板的信號輸入端，所述光電倍增管連接有高壓電源； 所述不銹鋼外殼內包覆有高壓電源、光電倍增管、光導柱、閃爍體，所述不銹鋼外殼的前部輸入端固裝有所述法拉第杯。 2.如權利要求1所述的一種高收集效率的掃描電鏡電子探測器，其特征在于：其還包括有寶石墊片，所述寶石墊片布置于所述閃爍體和光導柱的輸入端之間。 3.如權利要求2所述的一種高收集效率的掃描電鏡電子探測器，其特征在于：所述法拉第杯的輸出通道的環(huán)壁上設置有石墨環(huán)。 4.如權利要求1所述的一種高收集效率的掃描電鏡電子探測器，其特征在于：所述閃爍體具體為P47閃爍、YAG閃爍體或YAP閃爍體。 5.如權利要求1所述的一種高收集效率的掃描電鏡電子探測器，其特征在于：所述光電倍增管的軸向前端為信號輸入端，所述光電倍增管的軸向后端布置有所述高壓電源，所述光電倍增管的軸向區域的旁側設置有電流放大電路板。 6.如權利要求3所述的一種高收集效率的掃描電鏡電子探測器，其特征在于：所述不銹鋼外殼包括后端殼體、中部連接件、前端殼體，所述后端殼體內包覆有高壓電源、電流放大電路板、光電倍增管，所述中部連接件用于連接后端殼體、前端殼體，所述前端殼體和中部連接件所形成的軸向內腔內包覆有光導柱、閃爍體、寶石墊片，所述前端殼體的軸向前部安裝有所述法拉第杯，所述法拉第杯的電子信號輸入端外露于所述前端殼體、且固裝有篩網(wǎng)。 7.如權利要求1所述的一種高收集效率的掃描電鏡電子探測器，其特征在于：所述篩網(wǎng)的網(wǎng)面前凸設置。 說(shuō)明書(shū)： 一種高收集效率的掃描電鏡電子探測器技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及物料轉運的技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種高收集效率的掃描電鏡電子探測器。 背景技術(shù)[0002] 掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡