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雙向導通槽柵功率MOS器件結構及制造方法

716   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:19:45
本發明提供一種雙向導通槽柵功率MOS器件結構及其制造方法，在硅片表面形成柵極、源極和漏極，實現雙向導通雙向耐壓的功率MOS器件，可用于鋰電池BMS防護等應用環境下。相比于傳統BMS中采用雙管串聯的方式以及其他實現雙向導通的結構，本發明提出的器件結構具有以下優點：第一，本發明提出的器件僅需要占據傳統方式一半甚至更小的面積，極大地提高了集成度；第二，本發明所提出的器件結構制造工藝簡單且制造成本也不高，降低了工藝制造上的問題；第三，本發明所提出的器件結構漏極和源極可以對換，實現上真正意義上的對稱結構和雙向導通雙向耐壓；第四，本發明所提出的器件結構由于漏極、源極和柵極均在硅片表面，因此易于集成，增加了應用環境。
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