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提高柔性超薄玻璃抗彎強度的鍍膜材料及其鍍膜方法

180   編輯:中冶有色網   來源:許昌恒昊光學科技有限公司  
2025-07-09 14:17:29
權利要求 1.一種提高柔性超薄玻璃抗彎強度的鍍膜材料,其特征在于:所述鍍膜材料包括:氧化釔Y2O3 35-50%、三氧化二鋁Al2O3 20-35%、二氧化鋯ZrO2 15-30%、五氧化三鈦Ti3O5 10-25%。 2.如權利要求1所述的一種提高柔性超薄玻璃抗彎強度的方法鍍膜材料的鍍膜方法,其特征在于:所述鍍膜方法包括以下步驟: S1:將氧化釔、三氧化二鋁、二氧化鋯和五氧化三鈦按比例混合,經球磨、靜壓和高溫燒結制備增強型粘結層復合膜料; S2:對柔性超薄玻璃基材進行離子源轟擊預處理,清潔并活化表面; S3:在真空鍍膜機中依次沉積增強型粘結層,厚度為30-50nm; S4:沉積緩沖層,采用四氮化三硅材料,厚度為100-150nm; S5:沉積保護層,采用摻氟類金剛石碳膜,厚度為30-50nm; S6:對鍍膜后的基材進行動態調控激光退火,通過實時監測膜層溫度變化,自適應調整激光功率與掃描速率,消除應力并優化微觀結構; S7:采用原位光譜分析技術驗證膜層致密度與界面結合狀態; S8:通過抗彎強度、斷裂韌性和耐磨性測試完成性能驗證。 3.如權利要求1所述的一種提高柔性超薄玻璃抗彎強度的方法鍍膜材料的鍍膜方法,其特征在于:所述步驟S1中,將氧化釔、三氧化二鋁、二氧化鋯和五氧化三鈦按質量百分比為35%-50%、20%-35%、15%-30%和10%-25%的比例混合,其中氧化釔作為主要增強相,三氧化二鋁用于平衡硬度和膨脹系數,二氧化鋯調節應力,五氧化三鈦提升界面結合力;混合材料在球磨機中研磨至粒度小于50納米且均勻度高于98%,隨后在300-330千克每平方厘米的靜壓力下壓制成塊狀,破碎為1-3毫米顆粒后,置于1350-1400攝氏度的高溫燒結爐中燒結16-20小時。 4.如權利要求1所述的一種提高柔性超薄玻璃抗彎強度的方法鍍膜材料的鍍膜方法,其特征在于:所述步驟S2中,將柔性超薄玻璃基材置于真空鍍膜機中,抽真空至7.5×10-4至8.5×10-4帕的極高真空環境,采用離子源轟擊技術對玻璃表面進行2.5-3分鐘的清潔與活化處理。 5.如權利要求1所述的一種提高柔性超薄玻璃抗彎強度的方法鍍膜材料
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