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低損耗高溫度穩定性的表面聲波傳感器

993   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:16:23
本發明提供一種低損耗高溫度穩定性的表面聲波傳感器，包括：壓電基片、沉 積在壓電基片表面的輸入叉指換能器和輸出叉指換能器、以及覆蓋在所述壓電基片 以及輸入叉指換能器和輸出叉指換能器上面的敏感膜。所述壓電基片為兼具高機電 耦合系數、高溫度穩定性的晶體材料，該壓電基片采用硅酸鎵鑭、鉭酸鎵鑭、鈮酸 鎵鑭、磷酸鎵、Sr3TaGa3Si2O14、Sr3NbGa3Si2O14、Ca3TaGa3Si2O14、Ca3NbGa3Si2O14以 及Sr3Ga2Ge4O14和四硼酸鋰。輸入叉指換能器在壓電基片中激發聲波并傳播，輸出叉 指換能器用于接收聲波，當加載的被測物與敏感膜發生反應后會導致聲波的特性發 生變化，通過檢測這些變化而得到關于被測物的特性結論。本發明從結構方面改善 傳感器性能，實現實用的低損耗、高溫度穩定性的表面聲波傳感器。
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聲明：
“低損耗高溫度穩定性的表面聲波傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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