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分步加熱制備硅基三維納米結構的方法

875   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 00:13:42
本發明涉及一種分步加熱制備硅基三維納米結構的方法,使用兩個內徑不同的中空石墨坩堝,使得兩個坩堝相互嵌套,其中一個石墨坩堝放置硅源,另一個石墨坩堝放置鍍鐵的硅片作為基底,并將兩個坩堝放置在適當位置;迅速將溫度升高至950攝氏度,保持溫度5分鐘后降低感應爐功率,使溫度在數秒內下降至850攝氏度左右,繼續保持5分鐘后關閉電源。在硅片基底上可以得到三維納米結構,具體為較粗的硅納米線構成三維結構的骨架,在骨架間隙內填充有極細的硅納米絲狀物。所得材料具有較大的比表面積和牢固的三維骨架,因此在鋰電池和高性能傳感器中有較好的應用。
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