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正交融合結構聲表面波一氧化碳氣體傳感器

1174   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:05:12
本發明公開了一種正交融合結構聲表面波一氧化碳氣體傳感器，包括聲表面波器件和智能控制模塊，聲表面波器件與頻率測量裝置相連接，智能控制模塊通過數據采集處理單元分別與溫度傳感器、濕度傳感器、壓力傳感器、頻率測量裝置相連接，智能控制模塊分別與神經網絡誤差補償單元、云通信模塊相連接；所述聲表面波器件包括YZ切鈮酸鋰的基底，基底上蒸鍍一層ZnO保護層，ZnO保護層上蒸鍍刻蝕有相互正交的兩條聲表面波延遲線，兩條聲表面波延遲線相交處設有一氧化碳敏感膜，一氧化碳敏感膜為摻雜有ZnO和An2O3的聚苯胺納米敏感材料。本發明可實現對一氧化碳氣體的常溫下敏感、高精度測量和智能誤差補償，實現了聲表面波一氧化碳氣體傳感器的云測試通信。
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聲明：
“正交融合結構聲表面波一氧化碳氣體傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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