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三光合一超寬波段高增透膜的制備方法

794   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 23:37:29
本發明公開的一種三光合一超寬波段高增透膜的制備方法,利用本方法可以實現可見光、近紅外和中紅外多個光學波段超寬范圍的高增透鍍膜的設計和鍍制。提高膜層的防潮性能和抗激光損傷能力,及野外惡劣環境的使用壽命。本發明通過下述技術方案予以實現:(1)以氟化鋰或氟化鋇晶體材料為基底,用膜系設計公式G/4M6H2LM0.6L0.3M/A,計算每層膜的光學厚度值;(2)清潔被鍍基底;(3)溫烘烤基底;(4)用離子源在鍍膜前和鍍膜過程中轟擊基底;(5)將Al2O3,SiO和MgF2三種膜料放入旋轉電子槍蒸發源坩鍋中,根據上述(1)的公式順序和厚度值用光學真空鍍膜機完成鍍膜;(6)退火處理。本發明解決了在潮解軟晶體材料上鍍膜不牢的工藝難題。
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“三光合一超寬波段高增透膜的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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