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用于檢測襯底的裝置及其使用方法

1032   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:22:24
一種用于檢測襯底的裝置及其使用方法，本發明結合壓電材料（如鉭酸鋰、鈮酸鋰）產線的實際需求以及后續濾波器件制作加工的實際需要提出了一種新型的襯底檢測裝置：該裝置包括主攝像鏡頭、反射率鏡頭、透射率鏡頭、色度采集裝置和計算機模塊，利用該裝置可以檢測襯底的直徑以及襯底拋光面的潔凈度、刮傷和凹洞等缺陷，同時還可以檢測襯底邊緣的損傷和襯底的色度，克服了傳統目檢和鐳射檢測的問題。
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