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超大尺寸鈮酸鋰晶體的生長裝置

956   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:15:32
本實用新型公開了一種超大尺寸鈮酸鋰晶體的生長裝置，包括鉑金坩堝和籽晶桿；鉑金坩堝外包覆保溫層；保溫層與鉑金坩堝之間設有硅鉬棒，硅鉬棒縱向對稱排列；籽晶桿穿過保溫層并深入鉑金坩堝中熔體上方；鉑金坩堝的上方設有螺旋形的水冷管，水冷管底部水平方向上的管距離大于頂部水平方向上的管距；水冷管底端水平方向上的管距大于或等于鈮酸鋰晶體的直徑；籽晶桿貫穿水冷管中央形成的空間；水冷管的底部設有進水管、頂部設有出水管，進水管和出水管分別貫穿保溫層與外部連通；水冷管上還設有控制水冷管上下移動的升降桿，升降桿貫穿保溫層。本實用新型能夠解決溶體對流緩慢，晶體生長界面處溫度梯度小等問題，適合8～12英寸晶圓的制備。
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