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基于鈮酸鋰薄膜的寬帶低相噪集成光生微波源芯片及系統

731   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:10:48
本申請提供一種基于鈮酸鋰薄膜的寬帶低相噪集成光生微波源芯片，包括設置在鈮酸鋰薄膜上的鈮酸鋰光波導；鈮酸鋰光波導包括模斑轉換波導、第一直波導、第一彎曲波導、第一Y分支波導、第二Y分支波導；第一Y分支波導與第二Y分支波導之間并聯有第四直波導和第五直波導；第四直波導上連接有第一光學微腔波導；第五直波導上連接有第二光學微腔波導；模斑轉換波導、第一直波導和第一金屬電極共同形成相位調制器；第四直波導、第一光學微腔波導和第二金屬電極共同形成高Q微諧振器；第五直波導、第二光學微腔波導和第三金屬電極共同形成低Q微諧振器。本申請有利于實現光生微波源的小型化和工程化。
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聲明：
“基于鈮酸鋰薄膜的寬帶低相噪集成光生微波源芯片及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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