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用于磷酸鐵鋰基于CVD工藝的加工設備及基于設備的加工工藝

921   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:02:42
本發明公開了一種用于磷酸鐵鋰基于CVD工藝的加工設備及基于設備的加工工藝，其結構包括入口置換室，所述入口置換室側壁安裝有輥道窯體結構，所述輥道窯體結構包括升溫箱、恒溫箱、冷卻箱、CVD gas打入管、冷卻水噴頭、輥道傳送帶和電加熱器，所述輥道窯體結構遠離入口置換室的一側安裝有出口置換室，所述輥道窯體結構側壁安裝有固定結構。本發明結構新穎，且密封效果好，密封持久性強，生產安全可靠，節約使用成本，完成CVD包覆工藝，優化CVD包覆效果，其基于設備的加工工藝簡單、有效實現磷酸鐵鋰CVD包覆。
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聲明：
“用于磷酸鐵鋰基于CVD工藝的加工設備及基于設備的加工工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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