合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 材料制備及加工技術

> 加工技術

> 三維楔形鈮酸鋰薄膜波導的制備方法

三維楔形鈮酸鋰薄膜波導的制備方法

881   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:35:40
本申請涉及半導體集成光電子器件技術領域，提供一種三維楔形鈮酸鋰薄膜波導的制備方法，應用于模斑轉化。本申請在二維楔形波導的基礎上，利用光刻膠存在自身消耗的特性，通過控制光刻膠厚度和刻蝕時間，使得刻蝕過程中光刻膠在楔形尖端先被完全消耗掉，露出鈮酸鋰層，再受到上方刻蝕氣體的作用，從而實現垂直方向上波導厚度的減小。由于光刻膠完全消耗所需時間與波導寬度成正比，因此楔形尖端的光刻膠最先被消耗，波導厚度最小，隨著波導寬度增大，波導厚度也相應增大，最終形成一個三維楔形波導結構。本申請利用光刻膠掩膜存在自身消耗的特性，按照傳統干法刻蝕工藝即可制備出三維楔形薄膜鈮酸鋰波導，更進一步地提高了纖芯耦合效率。
登錄解鎖全文
聲明：
“三維楔形鈮酸鋰薄膜波導的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
加工技術
上一個：鋰金屬電池的液態電解質
下一個：升溫迅速純氮氣熱效率高的鋰電池生產用真空烤箱

與 “三維楔形鈮酸鋰薄膜波導的制備方法” 相關技術

? 機制砂反擊式破碎機的除塵控制方法
? 用于地質勘察的碎石裝置
? TA10鈦合金-2205雙相不銹鋼復合板爆炸焊接方法
? 提高柔性超薄玻璃抗彎強度的鍍膜材料及其鍍膜方法
? 礦用車載氣動設備遠程控制裝置
? 礦用車橋大壁厚軸頭環縫窄間隙焊接方法
? 礦用車輛多擋位輪邊驅動總成及其換擋驅動方法
? 基于視覺及雷達融合的礦用車輛安全行駛檢測系統
? 用于礦用車的無人駕駛系統及礦用車
? 礦用車的能量管理方法、裝置、礦用車和存儲介質

相關加工設備推薦

鋁塊鑄造機
定梁數控龍門加工中心
鋁型材數顯雙頭切割鋸
齒輪式自動攻絲機
鋁門窗全自動角碼切割鋸床
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?機制砂反擊式破碎機的除塵控制方法
?用于地質勘察的碎石裝置
?TA10鈦合金-2205雙相不銹鋼復合板爆炸焊接方法
?提高柔性超薄玻璃抗彎強度的鍍膜材料及其鍍膜方法
?礦用車載氣動設備遠程控制裝置
?礦用車橋大壁厚軸頭環縫窄間隙焊接方法
?礦用車輛多擋位輪邊驅動總成及其換擋驅動方法
?基于視覺及雷達融合的礦用車輛安全行駛檢測系統
?用于礦用車的無人駕駛系統及礦用車
?礦用車的能量管理方法、裝置、礦用車和存儲介質

報名參會
更多+

第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
2025年07月18日 ~ 20日
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025年07月23日 ~ 26日

報告下載

1 鋰離子電池正極材料磷酸錳鐵鋰的
下載:233
2 磷酸(錳)鐵鋰材料的發展及動力電
下載:129
3 磷酸鐵鋰材料與電池體系的發展方
下載:125
4 廢舊動力電池磷酸鐵鋰材料再資源
下載:122
5 磷酸鐵鋰的產業化與回收前景分析
下載:117
6 西藏鹽湖鋰資源和開發利用
下載:101
7 高倍率磷酸鐵鋰電池的研究與進展
下載:96
8 高能量密度磷酸鐵鋰電池的技術路
下載:92
9 磷酸鐵鋰材料性能改善研究
下載:83
10 回收磷酸鐵鋰性能的修復及其電池
下載:74
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1智能耳穴調節裝置
2《高強韌微納米金屬陶瓷材料關鍵技術開發與應用》——鄧瑩
3鋁箔化成反應過程中的數據管理方法
4制備碳/碳復合材料的濕法針刺工藝
5粉末冶金材料及其制備技術現狀與新動向
6改性生物炭及其制備方法和應用
7硅羥基磁珠及其合成方法、應用
8金剛石-碳化硅復合材料、制備方法以及電子設備
9石英纖維/炭纖維增強炭基復合材料坩堝及其制備方法
10鈷酸銅催化電極材料及其在硝酸根還原制氨中的應用
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX