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鋰金屬上的固態電解質及阻擋層及其方法

813   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:05:45
制造包含鋰金屬電極的電化學裝置的方法可包含：提供基板，在所述基板表面上具有鋰金屬電極；沉積第一電介質材料層至鋰金屬電極上，且沉積第一電介質材料層是在氬環境中濺射Li3PO4；在沉積第一電介質材料層后，在第一電介質材料層上方誘發及維持氮等離子體，以提供離子轟擊第一電介質材料層而將氮并入所述第一電介質材料層內；及在沉積、誘發及維持后，沉積第二電介質材料層至經離子轟擊的第一電介質材料層上，且沉積第二電介質材料層是在含氮環境中濺射Li3PO4。電化學裝置可包含在鋰金屬電極與LiPON電解質之間的阻擋層。本文也描述配置為制造包含鋰金屬電極的電化學裝置的工具。
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