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鉭酸鋰晶體基片的加工方法

912   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:55:37
本發明公開了一種鉭酸鋰晶體基片加工方法，包括切片、倒角、黑化、研磨、粗拋和精拋步驟，在所述粗拋和精拋步驟中采用了鉆石拋光液，所述鉆石拋光液由鉆石微粉、乙二醇、甘油、乙醇氨以及去離子水構成，其PH值在9～11之間，其中鉆石微粉含量為20～25%，乙二醇含量為8～15%，甘油含量為3～5%，乙醇氨含量為0.1～0.3%，去離子水含量為60～65%。本發明可以大大提高鉭酸鋰晶片的表面光潔度、降低其表面粗糙度，消除應力，達到鏡面拋光效果，從而降低節約生產成本和提高產品的合格率。
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聲明：
“鉭酸鋰晶體基片的加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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