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處理鈮酸鋰或鉭酸鋰晶片的方法

1100   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 20:51:52
本發明公開了一種處理鈮酸鋰或鉭酸鋰晶片的方法,是將待處理的鈮酸鋰或鉭酸鋰 晶片分別置于坩堝中,加入預先按質量比例混合均勻的鐵粉和碳酸鋰粉,完全覆蓋晶片, 然后將此剛玉坩堝置于熱處理爐中,在流量為0.5~1L/min的氮氣氣氛下,以450~550 ℃溫度條件進行熱處理3~20小時,制得成品鈮酸鋰或鉭酸鋰晶片。本發明方法制備的 晶片電阻率在109~1012Ω·cm量級,相比于常規未處理晶片,電阻率大幅度降低,并 且本發明的方法能夠以短時間的熱處理有效地制備SAW器件所需要的晶片,增加了元件 制造過程中的成品率,成為工業化的優選方法。
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