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新型化學液相沉積爐

1186   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 18:03:19
本實用新型提供了一種碳/碳復合材料的致密及生產制備中的新型化學液相沉積爐，包括工作室、冷凝器和爐蓋，工作室和冷凝器是兩個由若干冷凝管相貫通的腔室；其中工作室中包括前驅體槽、支架、預制體和感應線圈等；預制體在工作室中被局部感應加熱，實現液相沉積；所述前驅體槽位于工作室內，且底部與工作室底部不接觸；前驅體槽和工作室底部之間充有前驅體，前驅體槽內充有前驅體；本裝置采取局部感應加熱，使得預制體不受尺寸限制，較傳統化學液相沉積爐工作狀態而言，新型化學液相沉積爐致密效果可控制，降低了生產成本。新型化學液相沉積爐采用多管螺旋軸式冷凝器，大大提高了前驅體的回收率，在節省成本的同時降低了對環境的污染。
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“新型化學液相沉積爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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