本發明公開了一種石墨烯?碳納米管純碳復合薄膜的制備方法,包括(1)將銅箔作為基底,通過常壓CVD法制備石墨烯薄膜;將碳納米管粉末加入鄰二氯苯中,放入超聲清洗機中超聲,得到均勻穩定的碳納米管分散液;(2)將碳納米管分散液通過滴定涂膜均勻分散于石墨烯薄膜上,然后熱處理除去溶劑,得到銅箔?石墨烯?碳納米管材料;(3)將銅箔?石墨烯?碳納米管材料進行粒子束輻照處理;(4)將處理后的銅箔?石墨烯?碳納米管材料刻蝕除去銅箔;然后將漂浮于刻蝕液上復合薄膜撈至去離子水中洗去殘留刻蝕液,得到純碳復合薄膜。本發明制備的具有透光性、導電性好的薄膜,可作為一種新穎的純碳復合材料,在場效應晶體管和激光鎖模等領域具有廣泛的潛在應用價值。
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