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無機納米粒子修飾PVP絕緣層氣體傳感器制備方法

890   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:44:06
本發明涉及一種無機納米粒子修飾PVP絕緣層氣體傳感器制備方法。傳感器為OFET器件結構，包括硅襯底（1），二氧化硅絕緣層（2），PVP/TiO2復合材料絕緣層（3），P3HT氣體敏感層（4）以及在氣體敏感層上蒸鍍的Ag叉指電極（5），器件通過簡單的旋涂工藝進行絕緣層和氣體敏感層薄膜的制備，利用真空蒸鍍技術蒸鍍Ag叉指電極（5），TiO2納米粒子經過吡啶改性增加了與PVP聚合物（6）的相容性，吡啶修飾的TiO2納米粒子（7）與PVP聚合物混合提高了絕緣層的介電常數，有利于降低器件的工作電壓，從而降低器件的功耗，其次促進了氣體敏感層材料P3HT的結晶，提高了傳感器對氣體的響應能力。該氣體傳感器具有靈敏度度高，在室溫下工作和制備工藝簡單的優點。
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聲明：
“無機納米粒子修飾PVP絕緣層氣體傳感器制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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