本發明涉及一種兼具壓力與非接觸式間隙測量功能的一體型柔軟傳感元件,屬于傳感器技術領域。該一體型傳感元件包括絕緣封裝薄膜、壓敏薄膜和平面型電渦流線圈薄膜。絕緣封裝薄膜由聚酰亞胺構成、壓敏薄膜層由導電高分子復合材料構成、平面型電渦流線圈薄膜由聚酰亞胺薄膜和覆合其上的銅箔線圈構成。其中,導電高分子復合材料直接硫化在裸露的銅箔線圈上構成一體化結構,通過獲取該一體化結構的阻抗來實現壓力與非接觸式間隙測量。本發明研制的一體型傳感元件柔性好、厚度薄、工藝簡單、成本低,僅用一套傳感系統就可實現壓力測量和非接觸式間隙測量,適用于工業設備狹小曲面層間壓力和間隙測量,其關鍵技術還可應用于多功能電子皮膚的研制。
聲明:
“兼具壓力與非接觸式間隙測量功能的一體型柔軟傳感元件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)