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直拉硅單晶用復合材料坩堝的制備方法及應用

783   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:10:04
本發明公開了一種直拉硅單晶用復合材料坩堝的制備方法，屬于光伏技術領域，工藝具體步驟包括預制品、CVI、預熱、浸漬、碳化、高溫氣相滲硅、氮化、高溫、碳化硅涂層、氫氧化鋇涂層、碳酸鋇涂層，本發明還公開了一種直拉硅單晶用復合材料坩堝的應用，該工藝制造得到的產品壽命長，在生產單晶硅時不會造成碳元素污染，其涂層質量更好，原料便宜，降低了成本。
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聲明：
“直拉硅單晶用復合材料坩堝的制備方法及應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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