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先驅體浸漬/裂解法制備碳/碳復合材料PECVD舟的制備工藝

1063   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:49:01
本發明提出了一種先驅體浸漬/裂解法制備碳/碳復合材料PECVD舟的工藝，與傳統石墨材質的承載框相比，碳/碳復合材料力學性能優于石墨，而且能夠適應PECVD高溫，高真空度，等離子體濺射等惡劣的鍍膜環境，而采取CVI(化學氣相沉積)工藝制備的碳/碳板材雖然力學性能更佳，使用壽命較長，但是由于工藝控制過程的復雜性導致制造成本較高。因此，本發明采用先驅體浸漬/裂解工藝制備碳/碳復合材料坯體以及SiC涂層，該工藝制備的承載框在滿足PECVD工藝的前提下，有效地降低了承載框的制造成本。
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