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含有氧化鋁涂層和碳化硅涂層的炭/炭復合材料坩堝

971   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:23:01
本發明涉及一種含有氧化鋁涂層和碳化硅涂層的炭/炭復合材料坩堝，屬于單晶硅拉制爐用熱場部件技術領域。所述復合材料坩堝包括炭/炭復合材料坩堝本體以及依次涂覆在坩堝本體內表面的碳化硅涂層、氧化鋁涂層，碳化硅涂層有效緩解了氧化鋁涂層與基體之間的熱失配，氧化鋁涂層在熔融硅過程中不引入雜質，能夠有效保證硅料的純度，而且碳化硅涂層和氧化鋁涂層配合使用具有優異的抗侵蝕性能，能夠有效避免含硅蒸汽對復合材料坩堝本體的侵蝕，進一步提高復合材料坩堝的使用壽命，滿足單晶硅拉制的需求。
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“含有氧化鋁涂層和碳化硅涂層的炭/炭復合材料坩堝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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