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低介電常數復合材料及其制備方法

1041   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 15:12:01
本發明公開了一種低介電常數復合材料及其制備方法。本發明的低介電常數復合材料含有苯并環丁烯和中空無機納米粒子或者含有苯并環丁烯衍生物和中空無機納米粒子,其制備方法如下:將苯并環丁烯、中空無機納米粒子加入到溶劑中,或者將苯并環丁烯衍生物、中空無機納米粒子加入到溶劑中,攪拌均勻制得旋涂液,采用甩膠法在基片上成膜;將上述制備的基片放置于具塞的平底杯中,抽真空通氮氣除去體系中的氧和殘余的溶劑,于70~100℃保持20~80分鐘,再升溫至190~350℃并保持40~120分鐘,降溫得到低介電常數復合材料。本發明所制備的復合材料具有低介電常數、高熱穩定性、高化學穩定性等優點,且制備簡單。
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