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懸浮多電極范德華異質結電子器件及其制備方法

1072   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:08:02
本發明屬于納米材料技術領域，具體涉及一種懸浮多電極范德華異質結電子器件及其制備方法。本發明將二維范德華納米功能材料與傳統納米機電系統進行耦合，采用“自下而上”垂直堆疊將范德華異質結懸浮于帶有底柵的陣列孔洞表面，并通過微納加工與等離子刻蝕等技術手段，可獲得多電極、陣列化懸浮范德華微納器件，具有重復性高，普適性強等特性，有利于進一步集成至模塊化電路，在一定程度上縮小了器件的尺寸，為基于范德華材料及其異質結的微納傳感器件制備提供了指導。
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“懸浮多電極范德華異質結電子器件及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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