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極紫外波段薄膜濾片及其制備方法和應用

1165   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:05:01
本發明提供了一種極紫外波段薄膜濾片及其制備方法和應用，屬于環境功能材料和水污染控制技術領域。本發明在Mg中摻Si，一定程度上可減小Mg的應力，Si可以穿透Mg的晶格，抑制Mg的結晶，并且原子半徑較小的Si占據Mg膜中的空位而產生拉伸作用，這種拉伸作用隨著Si摻雜質量分數的增大逐漸占據對薄膜應力的主導作用，從而使Mg從壓應力轉變為張應力，進而提高了極紫外波段薄膜的機械性能，同時不影響透過率。
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“極紫外波段薄膜濾片及其制備方法和應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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