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研磨墊材料、研磨墊以及制備方法

809   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:31
本發明提供一種研磨墊材料，包括：以異氰酸酯、多元醇為原料制備的具有多種化學鏈長度的聚酯，其中所述多元醇至少部分為以具有電特性的功能材料為原料制備的多元醇。還提供一種研磨墊，包括：研磨層，采用研磨墊材料制成，所述研磨墊材料以異氰酸酯、多元醇為原料制備的具有多種化學鏈長度的聚酯，其中所述多元醇至少部分為以具有電特性的功能材料為原料制備的多元醇。本發明提供的技術方案能夠使研磨墊具有任意電特性，從而能夠適應多種材料膜層的研磨。
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“研磨墊材料、研磨墊以及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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