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基于二維有機功能材料的超低功耗鐵電晶體管型存儲器及其制備方法

1037   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:29
本發明公開了一種用基于二維有機功能材料的超低功耗鐵電晶體管型存儲器及其制備方法，以原子束沉積的方法在襯底上生長一層氧化鋁絕緣層，然后利用反溶劑輔助結晶法在室溫下制備一層超薄的鐵電聚合物晶態薄膜，然后利用漂浮的咖啡環效應和相位分離法同時生長一層超薄聚甲基丙烯酸甲酯和一層超薄二辛基苯并噻吩苯并噻吩，最后利用非侵入性金膜轉移工藝將金膜轉移到二辛基苯并噻吩苯并噻吩層上作為源極和漏極。本發明以準二維鐵電聚合物晶態薄膜為介電層和二維有機分子晶體C8?BTBT材料作為半導體層制備快速晶體管存儲器，可以大幅度降低鐵電有機場效應晶體管存儲器的功耗，同時具有低壓操作能力以及快速存儲能力。
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