1.5)：1，按照體積比2％-20％向所述混合溶液中加入所述催化劑。
17.在本發明的一些實施例中，所述步驟s2中，老化時間2-8h，干燥方式采用常溫干燥，常溫干燥時間為5-20h；或者，
18.干燥方式采用冷凍干燥，冷凍干燥時間為10-100h；或者，
19.干燥方式采用超臨界干燥，超臨界干燥時間為5-15h。
20.在本發明的一些實施例中，所述步驟s3中，在高溫合成步驟之前先進行粉碎處理和篩分分離，將所述有機聚合物粉碎至1.5mm-5mm。
21.在本發明的一些實施例中，所述步驟s3中，采用研磨設備進行粉碎處理，研磨介質為碳化硅研磨珠，碳化硅研磨珠的直徑為0.5mm-1mm，研磨時，碳化硅研磨珠和有機聚合物的質量比為(0.5-2)：1；
22.篩分分離時，采用篩分機將碳化硅研磨珠與研磨后的有機聚合物分離，篩分機的篩網孔徑為1-1.2mm。
23.在本發明的一些實施例中，所述步驟s3中，高溫合成的具體步驟：
24.將篩分分離后的有機聚合物裝入石墨坩堝中，將裝配好的石墨坩堝轉移至合成爐中，首先采用惰性氣體對合成爐的爐腔進行吹掃，惰性氣體純度為99.99999％；吹掃時間為0.5-1h；之后抽真空，使爐腔的真空度至少為1
×
10-5
mbar；進行漏率檢測合格后開始升壓至60-150mbar；恒壓60-150mbar，開始加熱，合成爐的爐腔溫度在2-4h升溫至1000-1200℃，之后恒溫5-10h，使有機聚合物在該溫度下無氧碳化形成碳源；之后在4-8h升溫至2100-2400℃，控制溫度恒定在2100-2400℃，恒溫時間為20-50h，使碳源和硅源充分參與反應；
25.之后進行降溫，使爐腔溫冷卻至室溫，并取出石墨坩堝，得到塊狀碳化硅；
26.將塊狀碳化硅進行粉碎處理，并通過分級篩分得到不同尺寸的碳化硅粉。
27.根據本發明第二方面的碳化硅粉，該碳化硅粉采用上述的制備工藝制備而成，所述碳化硅粉具有碳包裹硅的微觀結構。
28.本發明的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發明的實踐了解到。
附圖說明
29.圖1是根據本發明一個實施例的碳化硅粉的制備工藝的流程示意圖；
30.圖2是實施例1制得的碳化硅粉的掃描電鏡圖；
31.圖3是實施例1制得的碳化硅粉的能譜圖；
32.圖4是實施例2制得的
聲明：
“碳化硅粉及其制備工藝的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：江蘇集芯半導體硅材料研究院有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
