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含氟廢液的回收利用方法與流程

1179   編輯:中冶有色網   來源:衢州市鼎盛化工科技有限公司  
2023-09-15 13:43:34
本發明涉及廢酸處理技術領域,特別是指一種含氟廢液的回收利用方法。 背景技術: 電子工廠與光伏電池板生產企業,為保障先進制程的完整、精密和良率,在生產過程中會使用電子級的氫氟酸和硝酸處理硅片,從而產生大量含氟廢酸。這些含氟廢酸的氫氟酸含量一般在4~10%,硝酸的含量一般在5~30%,氟硅酸的含量一般在0.6~6%。大多數此類工廠的環評報告都把含氟廢酸列為危廢品,少數工廠會把含氟廢酸列為副產品。根據中國的現行法律,危廢品需要有資質的單位進行專項處理,或者產廢單位在自己工廠內進行現場處理,使之成為一般廢棄物。 產廢工廠或危廢處置單位對此類廢酸的處理方式一般都是酸堿中和處理,ph值達標后,把固體物沉淀下來,成為一般固廢。最常用的堿就是石灰(cao)或消石灰(ca(ho)2),成本低、固廢易處理、廢水容易達標。但是用堿中和處理含氟廢酸,只是單純地處理了危廢物,卻忽視了氟資源的價值。在全球提倡節能降耗、發展低碳經濟的時代,探索新的生產技術和工藝已成為業內人士的共識。只有采用先進的技術和工藝,將這些氟資源利用起來,在生產高附加值、有市場需求的氟產品后,將大幅度降低污水處理成本且非常符合資源綜合利用和發展循環經濟的國家政策。所以,如何綜合循環回收利用含氟混酸的技術已越來越引起重視。 技術實現要素: 本發明提出一種含氟廢液的回收利用方法,解決了現有技術中廢酸直接沉淀處理以致于氟資源沒有回收利用的問題。 本發明的技術方案是這樣實現的: 一種含氟廢液的回收利用方法,包括: 含氟廢液在濃硫酸作用下,四氟化硅和水以氣體狀態逸出,之后經過兩級冷凝;第一級冷凝得到硝酸,第二級冷凝得到氫氟酸; 所述四氟化硅經處理后得到濃氟硅酸和二氧化硅;之后分離二氧化硅,所述濃氟硅酸與所述含氟廢液混合,進入系統內循環; 所述含氟廢液包括氫氟酸、硝酸和氟硅酸。 在一些實施例中,上述作用后的濃硫酸轉化為稀硫酸,將所述稀硫酸蒸發濃縮為濃硫酸,將濃縮后的濃硫酸進入處理系統內循環使用。 在一些實施例中,所述四氟化硅的處理方式為用水吸收。 在一些實施例中,所述四氟化硅的處理方式為用稀氟硅酸吸收。 在一些實施例中,所述含氟廢液包括,h2sif6:0.3%~12%、hf:2%~15%、hno3:3%~35%。(光伏行業) 在一些實施例中,所述含氟廢液包括,h2sif6:0.3%~6.5%、hf:2%
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