本實用新型公開了一種碳化硅線切裝置,包括底座,底座頂端的兩側均設有支撐板,其中一個支撐板一側的頂部設有氣缸座,氣缸座的一端安裝有氣缸,氣缸的輸出端與固定板的一側固定連接,固定板底端開設有凹槽,凹槽頂端的內壁設有震動電機,震動電機的輸出端設有震蕩板,本實用新型一種碳化硅線切裝置,通過設有的氣缸帶動固定板,從而帶動晶棒咋切割線上來回往復運動,因此使得切割的品質均勻,不會有斷線的危險,且切割效果好;通過設有的震動電機,可以加快晶棒切割后廢屑脫離晶棒;通過在出料管口設有的超聲波發生器,利用超聲波產生正玄波傳遞特性,增加排削性以及切割能力,且利用介質傳遞超聲波可避免硬件損耗與精度跑偏。
聲明:
“一種碳化硅線切裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)