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處理含全氟化合物及/或含氫氟烴廢氣的方法

854   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 05:33:34
本發明是關于一種處理含全氟化合物及/或含氫氟烴廢氣的方法,此方法是將含全氟化合物及/或含氫氟烴廢氣與鐵氧化物觸媒進行氣固接觸,并進行電漿氧化反應,之后再以觸媒進行氣固接觸及氧化反應,以達到分解全氟化合物及/或含氫氟烴的目的。由于本發明可在較先前技術低許多的溫度下操作,其能源消耗小且不具著火危險性,因此,非常適合用來去除半導體及光電制造工廠所產生的含全氟化合物的廢氣。
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“處理含全氟化合物及/或含氫氟烴廢氣的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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