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提高三氯氫硅選擇性的方法

1041   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 04:51:18
本發明提供了一種提高三氯氫硅選擇性的方法,步驟如下:(1)取工廠廢硅粉,把廢硅粉放入塑料燒杯中,倒入氫氟酸并進行攪拌,然后進行抽濾、洗滌,最后把濾餅放進真空烘箱中進行烘干;(2)稱取步驟1中氫氟酸處理過的廢硅粉,裝入固定床反應器中,然后把固定床反應器放進管式爐中,通惰性氣體進行加熱;(3)固定床反應器內溫度達到280℃時,通HCl氣體開始反應,生成物即主產物三氯氫硅和副產物四氯化硅。本發明的優點在于:反應物之一為工業固體廢棄物?廢硅粉,大大節約了成本,實現固廢資源化。氫氟酸處理大大提高了產物三氯氫硅的選擇性。
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