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提高三氯氫硅選擇性的方法

1041   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:51:18
本發明提供了一種提高三氯氫硅選擇性的方法，步驟如下：(1)取工廠廢硅粉，把廢硅粉放入塑料燒杯中，倒入氫氟酸并進行攪拌，然后進行抽濾、洗滌，最后把濾餅放進真空烘箱中進行烘干；(2)稱取步驟1中氫氟酸處理過的廢硅粉，裝入固定床反應器中，然后把固定床反應器放進管式爐中，通惰性氣體進行加熱；(3)固定床反應器內溫度達到280℃時，通HCl氣體開始反應，生成物即主產物三氯氫硅和副產物四氯化硅。本發明的優點在于：反應物之一為工業固體廢棄物?廢硅粉，大大節約了成本，實現固廢資源化。氫氟酸處理大大提高了產物三氯氫硅的選擇性。
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聲明：
“提高三氯氫硅選擇性的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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