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半導體有機清洗設備的供水系統

1080   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 03:03:21
本實用新型揭示了一種半導體有機清洗設備的供水系統,該供水系統的組成包括用于回收清洗廢水的加熱水箱,與加熱水箱排放管相連的清洗泵,以及從清洗泵連至工藝腔的出水管路,其中加熱水箱中設有與其中貯水直接接觸的電磁加熱系統,且加熱水箱中設有測量范圍高于60℃的水溫采集裝置。通過自動階梯式的電磁加熱保持水質,并且該加熱水箱還一個多套系統共用。應用本實用新型的技術方案,可以在滿足半導體清洗所用超純水要求下,省卻傳統系統的多個過濾器及電阻率測量裝置,從而節省了可觀的加工成本,大大增加了設備正常運行的時間。
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