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四甲基氫氧化銨顯影廢液再生系統和再生方法

825   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 02:52:01
本發明涉及一種四甲基氫氧化銨顯影廢液再生系統和再生方法。所述系統包括若干送料泵、中和分離裝置、吸附裝置、陽離子交換裝置、陰離子交換裝置和凈化處理裝置，所述中和分離裝置、吸附裝置、陽離子交換裝置、陰離子交換裝置和凈化處理裝置各至少設有一組，所述中和分離裝置、吸附裝置、陽離子交換裝置、陰離子交換裝置和凈化處理依次通過帶控制閥的料管連接，通過該系統能夠長期穩定的循環再生高純度的四甲基氫氧化銨顯影液，達到節能環保的目的，同時降低半導體工廠廢水排放的壓力，為工廠節約廢水處理的成本，從而達到資源有效循環利用的目的。
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