本發明公開了一種氯硅烷廢氣處理方法,屬于氯硅烷廢氣處理技術領域,包括向一級淋洗塔及淋洗水池內通入氮氣排出空氣;向凈水池中放入清水;調制好藥劑,備用;向淋洗水池中放入石灰乳堿液;依次開啟氣動閥、淋洗塔噴淋泵及石灰乳加藥泵后,再開啟進廢氣閥,使廢氣淋洗后,經水封罐排至火炬焚燒系統;淋洗廢水排至中和池,再經提升泵提升至廢水凈化器,凈化器出水自流至凈水池,循環利用;凈化器底部污泥定時排至污泥池,污泥經濃縮干化處理。本發明能夠有效吸收工業生產過程中產生的氯硅烷廢氣中的有害氣體,防止廢氣污染大氣。
聲明:
“氯硅烷廢氣處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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