本實用新型公開了一種工業用超純水供應系統,包括超純水發生裝置、冷卻裝置和儲水桶,所述冷卻裝置的進水口與市政供水管連通,所述冷卻裝置的冷卻水出口與所述超純水發生裝置的進水口連通,所述超純水發生裝置的廢水出口與儲水桶連通,所述儲水桶用以向所述冷卻裝置補加冷卻循環用水。采用冷卻裝置向所述超純水發生裝置提供冷卻水,再由超純水發生裝置制備冷卻的超純水,在制備超純水的過程中產生的廢水用來作為冷卻裝置的循環用水。
聲明:
“工業用超純水供應系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)