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廢水處理系統

889   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 01:04:54
一種新穎及改進的廢水處理系統,適用于處理CMP制程的廢水與BG廢水及/或BW廢水。一收集第一廢水的第一暫存槽,一收集第二廢水的第二暫存槽,一收集槽,一析出第一、第二廢水中粒子的反應槽,以及至少一沉淀所述第一、第二廢水中粒子的沉降槽,其中,所述收集槽與所述第一、第二暫存槽和所述反應槽做流體性連接,所述反應槽與所述沉淀槽做流體性連接。一放流槽接收來自沉降槽凈化后的廢水,此凈化后的廢水可用輸送泵送至一儲存槽,例如一回收水(RCW)槽,用于例如廢氣洗滌裝置的清潔制程。
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廢水處理
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