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輻射源、光刻設備和器件制造方法

802   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:38:17
一種包括陽極和陰極的輻射源,所述陽極和陰極被配置和排列為在所述陽極和陰極之間的物質中產生放電形成等離子體從而產生電磁輻射。所述流體包括氙、銦、鋰、錫或任何適合的材料。輻射源單元設置為具有低感應系數,并運行于等離子體最小的狀態來提高轉換效率。在輻射源體積和芯捻內設有流體循環系統,應用流體的氣態和液態轉換來提高熱耗散。輻射源單元設置得產生最小量的污染物,并在不干擾出射輻射的情況下捕獲污染物來防止污染物進入光刻投影裝置。
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