權利要求
1.一種PVD埃米金薄膜載體的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1、在基片玻璃反面激光標號;
S2、將S1步驟的基片玻璃依次進行超聲波清洗、烘干、消毒、等離子清洗;
S3、將S2步驟的基片玻璃真空鍍金屬層，所述金屬層為鈦層和/或金層;
S4、將S3鍍層后的基片玻璃切割、包裝，得到PVD埃米金薄膜載體。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，S1中所述基片玻璃為0.3mm-1.1mm平面浮化玻璃。
3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，S2中所述消毒的條件為：真空環境中，300℃～400℃的溫度下消毒。
4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，S3中所述鍍金屬層的條件為：鍍膜室通入Ar流量為200～520sccm，溫度為50℃～130℃，鍍膜室本底真空度1.0×10-3Pa～6.0×10-5Pa，充氣后鍍膜室總氣壓恒定為0.3～0.5Pa，所述鍍鈦層的厚度為3nm-20nm，所述鍍金層的厚度為3nm-20nm。
5.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述鍍鈦層的純度為99.99%-99.9999%;所述鍍金層的純度為99.99%-99.9999%。
6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，S4所述切割、包裝在GMP凈化環境下進行。
7.一種如權利要求1-6中任一項所述制備方法得到的PVD埃米金薄膜載體，其特征在于，在基片玻璃載體一面上依次鍍有鈦層和金層。
說明書
技術領域
[0001]本發明涉及合金靶材技術領域，尤其涉及一種PVD埃米金薄膜載體及其制備方法。
背景技術
[0002]目前在生物醫學檢測中，大量使用白玻璃作為生物病毒標志物及其它待檢測的樣本的載體，因玻璃中含有鈉、硅、鐵、鋁、鈣等離子會破壞和影響標記物檢測的質量，同時玻璃表面存在微生物、細菌和病毒影響最終的檢測結果，破壞準確性。金的微小顆粒(納米金)直徑在1～100nm之間，具有高電子密度、介電特性和催化作用，能與多種生物大分子結合，且不影響其生物活性，這為金在生物醫學領域的應用提供了更多的可能性。由于納米金微粒所具有的表面等離子體
聲明：
“PVD埃米金薄膜載體及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
265
編輯：中冶有色網
來源：湖南玉豐真空科學技術有限公司
分享 0
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
2025年07月11日 ~ 13日 
