本發明涉及一種氧化鋁-金剛石復合材料的制造方法,屬無機復合材料制造工藝技術領域。本發明的制備工藝方法,其特征在于先由金剛石微粉均勻分布于純氧化鋁陶瓷體系中并通過熱壓燒結制成兩相共存的復合基底,然后在此復合基底上,用熱絲化學氣相沉積法生長金剛石薄膜,最終制成具有大面積金剛石薄膜的氧化鋁-金剛石復合材料;本發明的具體步驟包括:純氧化鋁陶瓷體系的制備、添加助燒劑、合成煅燒、添加金剛石微粉、復合基底的熱壓燒結、化學氣相沉積金剛石薄膜,最后制成本發明的新型氧化鋁-金剛石復合材料。本發明的復合材料適合于制作大規模集成電路的基片材料,可用作封裝管殼的基片材料。
聲明:
“氧化鋁-金剛石復合材料的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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