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濺射鍍膜用鉬旋轉靶材的制造方法

1074   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:54
本發明公開了一種濺射鍍膜用鉬旋轉靶材的制造方法，包括：將高純鉬粉末均勻地填充在管狀模具內，加壓成型制備成管狀粉質鉬坯；將管狀粉質鉬坯放入冷等靜壓機壓制，等靜壓致密后得到鉬坯；將成型的鉬坯放入真空燒結爐內進行燒結，將燒結后的鉬坯放入燒結爐中，通入氫氣保護，加熱、保溫后取出進行反復錘鍛；將鍛打后的鉬坯放入真空退火爐內進行退火，然后鉬坯隨爐冷卻至室溫；對退火后的鉬坯加工后得到鉬旋轉靶材。本發明得到的鉬旋轉靶材具有相對密度高、加工性能優良、靶材內部晶粒組織均勻細小、無組織缺陷的特點。
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