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鋁基碳化硅高密度封裝半導體復合材料

973   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:54
一種鋁基碳化硅高密度封裝半導體復合材料，包含如下步驟：制備SiC復合漿料，首先使用SiC微粉配制得到固含量為30?70%的SiC漿料，然后按照SiC∶Au∶Ag：Pd為（50?60）∶（0.3?0.6）∶1：（0.02?0.05）的質量比加入金粉和銀粉和鈀粉，混合均勻，得到SiC復合漿料；流延成型，對得到的SiC復合漿料除泡混合均勻后，進行流延得到SiC復合流延膜；流延膜素燒，對得到的流延膜進行素燒，得到SiC復合素坯；真空燒結，將SiC符合素坯在真空狀態下燒結，得到鋁基碳化硅。本發明的有益效果：通過采用凝膠流延法制備鋁基氮化鋁，工藝簡單，得到的產品成分分布均勻，氣孔率低，半導體性能優越，且通過引入金、銀和鈀粉，充分改善燒結性能，進一步降低燒結溫度，節能環保。
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