本發明屬于光譜測量及成像技術領域,涉及一種激光共焦誘導擊穿光譜-拉曼光譜成像探測方法及裝置,可用于樣品的微區組分與形態參數的高空間分辨成像與探測。該方法與裝置利用激光誘導擊穿光譜探測樣品組分的元素組成信息,利用拉曼光譜探測樣品的化學鍵與分子結構信息,利用共焦技術探測樣品表面形貌信息,并通過軸向定焦保證聚焦到樣品表面的光斑最小從而提高光譜激發效率,三者聯用可實現結構共用和功能互補,構成一種“圖譜合一”的高空間分辨的光譜成像探測方法及裝置,本發明具有高空間分辨,物質組分信息豐富和測量聚焦光斑尺寸可控等優點,在礦產、冶金、空間探測、環境監測、生物醫療等領域有廣泛的應用前景。
聲明:
“激光共焦誘導擊穿-拉曼光譜成像探測方法與裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)