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采用冶金法多晶硅摻鎵制作高效多晶硅片的方法

987   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:36:45
本發明公開一種采用冶金法多晶硅摻鎵制作高效多晶硅片的方法，包括如下步驟：(1)在坩堝內壁上涂敷氮化硅涂層；(2)在坩堝內裝入冶金法多晶硅料、化學法多晶硅料和鎵摻雜劑，形成混合物；(3)將裝有混合物的坩堝放入鑄錠爐中，抽真空，加熱，使混合物按照從上到下的順序逐漸熔化；(4)進入長晶階段后，調節鑄錠爐中控溫熱電偶的溫度和側部隔熱籠向上移動的速率，使熱量向下輻射，從而使熔硅形成豎直向上的溫度梯度而自下向上生長；(5)退火、冷卻，即可得到摻鎵冶金法多晶硅錠。實驗證明：本發明的多晶硅錠少子壽命較高，位錯密度低，成本較低。
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