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堿性蝕刻液及其循環使用方法

1197   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:34:38
本發明公開了一種堿性蝕刻液及其循環使用方法，所述堿性蝕刻液包括氯化銅、有機胺、氧化劑、添加劑以及去離子水；每升堿性蝕刻液中氯化銅占10?150g，有機胺占10?200g，氧化劑1?100g，添加劑占1?100g，其余為去離子水。本發明的堿性蝕刻液，在使用過程中溶液是堿性，對設備要求不高；使用成本低，操作安全環保，檢測控制系統簡單；低側蝕，蝕刻速度快；穩定性高。該方法采用膜分離技術和沉淀還原的技術相結合，可以很好的實現蝕刻液的循環再生利用，反應后的產物是氮氣和水，不帶入其它雜質，過濾沉淀銅后的濾液可以回用于配制新蝕刻液。
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聲明：
“堿性蝕刻液及其循環使用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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